Způsob výroby mikromechanické součásti pro snímací zařízení nebo mikrofonní zařízení

Technické prvky implementace:

3. Předložený vynález navrhuje mikromechanickou součást pro snímací zařízení nebo mikrofonní zařízení se znaky nároku 1 a způsob výroby mikromechanické součásti pro snímací zařízení nebo mikrofonní zařízení se znaky nároku 5.

4. Výhody vynálezu

5. Konstrukce podle vynálezu založená na alespoň jedné obětní vrstvě z alespoň jednoho materiálu elektricky izolující obětní vrstvy mikromechanické součásti navržené vynálezem a stejné Konfigurace podle vynálezu alespoň jedné izolační oblasti vyrobené z při alespoň jeden elektricky izolační materiál materiálu izolační obětní vrstvy, aby se vytvořila dutina mikromechanické součásti, může být proveden proces vhodný pro částečné odstranění alespoň jedné obětované vrstvy, aniž by bylo třeba se starat o poškození nebo odstranění alespoň jednu oblast izolace. Vynález tak usnadňuje vybavit odpovídající mikromechanickou součást podle vynálezu alespoň jednou izolační oblastí, která je s výhodou vhodná pro elektrickou izolaci elektrodové struktury od membrány, mezi vrstvou materiálu membrány a vrstvou materiálu elektrody. elektricky izolující a/nebo oddělující alespoň jednu zbytkovou oblast alespoň jedné obětované vrstvy od dutiny. Vynález tak zlepšuje mikromechanickou součást podle vynálezu ve srovnání s dosavadním stavem techniky a navíc přispívá ke snížení nákladů na pracovní sílu a mikromechanické součásti podle vynálezu na výrobu mikromechanické součásti podle vynálezu.

6. Alespoň jedna izolační oblast pro oddělení alespoň jedné zbytkové oblasti alespoň jedné obětované vrstvy může zejména působit jako "ochrana proti leptání" proti nežádoucímu leptání alespoň jedné zbytkové oblasti během konstrukce dutiny. Současně je dosaženo alespoň jedné izolační oblasti vytvořené z alespoň jednoho elektricky izolačního materiálu pro oddělení alespoň jedné zbytkové oblasti.

Kontaktujte nás:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894