Způsob výroby zařízení MEMS

technický obor

1. Předkládaný popis se týká memového zařízení se zlepšeným rozložením napětí.

Technika na pozadí:

2. Jak je dobře známo, elektronická zařízení mem ("Micro Electro Mechanical Systems"), jako jsou akční členy a/nebo senzory, jsou typicky vytvořeny na substrátu, ve kterém je umístěna dutina a zahrnují pohyblivé struktury zavěšené nad dutinou a omezené elastickým prvek do pevné oblasti. Substrát, pohyblivá struktura a elastický prvek mohou být integrální a jsou typicky vytvořeny z polovodičového materiálu, jako je křemík.

3. Tato elektronická zařízení také zahrnují: jednu nebo více aktivačních a/nebo detekčních struktur, spojených s pohyblivou konstrukcí; a elektrické řídicí obvody integrované ve stejném substrátu nebo vytvořené v různých substrátech a Spojení s ovládací a/nebo detekční strukturou může poskytovat elektrické řídicí signály do ovládací struktury a/nebo přijímat elektrické detekční signály z detekční struktury.

4. V detailu, ovládací struktura může způsobit přemístění, např. rotaci, pohyblivé struktury, když je řízena odpovídajícím elektrickým hnacím signálem. Podobně je detekční struktura konfigurována pro generování odpovídajících elektrických signálů, které jsou funkcí provozních podmínek pohyblivé konstrukce a například funkcí rozsahu otáčení pohyblivé konstrukce.

5. Elektrický řídicí obvod a spouštěcí a/nebo detekční struktura jsou typicky vzájemně elektricky spojeny vodivými drahami, např. vytvořenými ze sady vodivých vrstev.

6. Vodivé kolejnice obecně probíhají přes pevné oblasti, elastické prvky a někdy částečně přes pohyblivé konstrukce.

7. Při použití má přemístění pohyblivé struktury za následek deformaci, např. zkroucení, pružných prvků, které omezují pohyblivou strukturu na pevnou plochu.

Kontaktujte nás:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894