Zařízení mikroelektromechanického systému a způsob jeho výroby

1. Vynález se týká technické oblasti mikromechanických systémů a zejména zařízení mikroelektromechanického systému a jeho obalové struktury.

Technika na pozadí:

2. Mikro-elektro-mechanický systém (mems, mikro-elektro-mechanický systém), také známý jako mikro-elektro-mechanický systém, mikro-systém, mikro-stroj atd., označuje high-tech zařízení o velikosti několik milimetrů nebo i menší.

3. Zařízení mikroelektromechanických systémů (neboli mems zařízení) jsou zařízení vyrobená pomocí polovodičové technologie k vytvoření mechanických a elektronických součástek. Mezi běžná zařízení MEMS patří rezonátory, urychlovače, tlakové senzory, akční členy, zrcadla, ohřívače a trysky tiskárny. Strukturální změny, jako je praskání, zvrásnění, delaminace, deformace, skládání atd., mohou dokonce vést k selhání funkce zařízení.

4. Vzhledem k výše uvedeným závadám je nutné zajistit nový MEMS přístroj a jeho obalovou strukturu.

Kontaktujte nás:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894