Přímý způsob lepení safírových plátků a postup pro safírovou strukturu citlivou na tlak

1. Předkládaný vynález patří do technické oblasti technologie memů, zejména do způsobu přímého spojování safírových plátků se safírovou strukturou citlivou na tlak.

Technika na pozadí:

2. Provozní teplota tradičních polovodičových snímačů tlaku je obecně nižší než 600 stupňů. Maximální provozní teplota piezorezistivního tlakového senzoru sic je 600 stupňů, maximální provozní teplota senzoru tlaku soi je nižší než 500 stupňů a maximální provozní teplota křemíkového safírového tlakového senzoru. Teplota 350 stupňů. Elektrická tlaková čidla se obtížně používají v prostředí s vyšší teplotou.

3. V současné době se v zahraničí objevily produkty snímače tlaku s optickými vlákny založené na safírových čipech, jako je snímač tlaku s optickým vláknem wave-phire dpt950 britské společnosti oxsensis, maximální pracovní teplota může dosáhnout 600 stupňů a přední konec sondy může dosáhnout 1000 stupňů. Výsledky výzkumu senzorů tlaku s optickými vlákny založených na safírových čipech však nebyly v Číně hlášeny. Čínský patentový dokument cn103234673 popisuje mikro-nano strukturu tlakového senzoru odolného vůči vysokým teplotám, která zahrnuje: membránu z karbidu křemíku, reflexní fólii, poloodrazovou fólii, spojovací vrstvu, substrát z karbidu křemíku, zapouzdřovací vrstvu a safír optické vlákno; reflexní fólie je potažena Uprostřed membrány z karbidu křemíku je na konci safírového vlákna potažena semireflexní fólie, spojovací vrstva (oxid křemičitý) je umístěna mezi membránou z karbidu křemíku a substrátem z karbidu křemíku, a safírové vlákno je připojeno k substrátu z karbidu křemíku přes zapouzdřovací vrstvu (vysokoteplotní keramické lepidlo). Proces přípravy výše uvedeného tlakového senzoru spočívá ve vytvoření Fabryho-Parotovy interferenční dutiny pomocí reflexního filmu naneseného na membránu z karbidu křemíku a semireflexního filmu naneseného na konci safírového optického vlákna pro realizaci detekce tlaku ve vysokém teplotní prostředí.

4. V současné době je domácí proces přímého spojování safírových destiček (na úrovni destičky) stále ve stádiu teoretického výzkumu a dosud neexistuje technologie procesu přímého spojování zralých safírových destiček (na úrovni destičky). V Číně je spojování na úrovni plátků obvykle zaměřeno na materiály na bázi křemíku a teplota spojování je nižší než 500 stupňů, jako je spojování křemíku a křemíku, anodické spojování křemíku a skla atd. Čínský patentový dokument cn 105236350 a popisuje přímé spojování metoda pro safírové čipy citlivé na tlak, pouze teplota je 1350 stupňů, žádná kontrola tlaku (tlaku) během procesu lepení a žádná kontrola spojení teploty a tlaku.

Kontaktujte nás:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894